Voyager 1015系統提供檢測圖案化晶圓的新功能,包括在光阻顯影後並且晶圓尚可重做的情況下,立即在微影單元中進行檢查。 Surfscan SP7系統為裸晶圓、平滑和粗糙的薄膜提供了前所未有的缺陷檢測靈敏度,這對於製造用於7nm邏輯和高級記憶體元件節點的矽基底非常重要,同時也是在晶片製造中及早發現製程問題的關鍵。這兩款新的檢測系統都旨在透過從根源上捕捉缺陷偏移,以加快創新電子元件的上市時間。

Surfscan SP7無圖案晶圓缺陷檢測系統採用實質性創新的光源和感測器架構,並實現了足以改變產業面貌的靈敏度,其分辨率與前一代市場領先的Surfscan系統相比有著劃時代的提升。這種前所未有的解決方案的躍進是檢測那些最小的殺手缺陷的關鍵。新分辨率的範圍可以允許對許多缺陷類型(如顆粒、划痕、滑移線和疊差)進行即時分類,無需從Surfscan設備中取出晶圓或影響系統產出率。同時,對峰值功率密度的精確控制也使得Surfscan SP7能夠檢測薄而脆弱的EUV光阻材料。

Voyager 1015圖案化晶圓缺陷檢測系統採用新型光源、訊號擷取和感測器架構,填補了顯影後檢測(ADI)方面的長期缺口。這種革命性的激光散射檢測系統在提升靈敏度的同時也可以減少干擾點訊號,並且與次佳產品相比得到檢測結果要迅速得多。與新型Surfscan SP7一樣,Voyager系統具有功率密度的優異控制功能,可在顯影後對敏感光阻材料進行在線檢測。在微影單元和晶圓廠其他模組中對關鍵缺陷進行高效率擷取,使得製程問題可以被快速辨識和修正。