材料分析層層把關 先進製程設備零缺陷

作者: EDN Taiwan

2022年開始,台積電(TSMC)、英特爾(Intel)、三星(Samsung)等半導體大廠的先進製程大戰如火如荼地展開,重砸資本支出在各項先進製程設備,如極紫外光(Extreme Ultraviolet;EUV)微影設備需求大增;若要在這場大戰奪得先鋒,關鍵在於產品良率(yield)是否能快速提升。

影響IC產品良率的因素非常多,本期封面特寫宜特科技(iST )將透過實驗室的相關經驗,探討「先進製程設備的缺陷如何影響良率」,以及「如何透過材料分析改善缺陷」。

著眼於工業4.0或智慧製造是現代製造業的發展趨勢,其中不可或缺的關鍵技術就在於工業物聯網(IIoT)與人工智慧(AI)大數據分析。經由物聯網(IoT)技術收集在生產環境與機具設備的各種感測器數據,並透過AI技術進行大數據分析,有助於提高生產效率、降低成本並實現更安全的生產環境。

IIoT結合AI帶來的效益可望實現爆發性的成長。越來越多的業者採用結合AI、IoT、大數據、雲端、邊緣運算等技術的解決方案,在生產製造過程導入智慧化製造模式,持續推動各種應用升級轉型。如今,這一應用市場正日益擴展,相關研究數據也顯示未來幾年內業界對於IIoT市場的投資至少將成長3倍。瞭解目前主要的IIoT應用趨勢以及如何實施該系統,才能進一步掌握競爭優勢。本期封面圖集將分享在AI與IoT等技術加持下的最新工業物聯網/智慧製造應用,探索在數位化轉型過程中如何串連IoT、感測器、機器人、雲端運算、AI與大數據分析等技術,打造高度「自動化」與「智動化」的工業物聯網。

 

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