MEMSIC 攻克加速度計難題

MEMSIC 攻克加速度計難題

加速度計在很多市場中都有著重要的作用。智能手機中會用到加速度計,汽車中也會用到加速度計。測量速度的變化率似乎可以有無限的應用。雖然有很多設計技術可用來創建加速度計,但 MEMSIC® Inc. 使用 Tanner 工具開發了沒有可動部件的 MEMS 和 CMOS IC 技術。採用獨特的熱技術,通過被加熱的氣體分子測量加速度。

要將混合信號處理與 MEMS 器件設計到同一晶片上非常困難,不過 MEMSIC 已成功將這些技術集成到同一矽片上,並且已向各行業售出了數百萬的加速度計。該公司還克服了另外兩大障礙,做到了堅持使用標準 CMOS IC 工藝從而維持低成本生產並且使用 Tanner 的單套工具將開發標準化。本白皮書介紹了他們是如何完成這一壯舉的。

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