【2021年12月雜誌 】縱橫半導體檢測 TOF-SIMS扮演要角

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【2021年12月雜誌 】縱橫半導體檢測 TOF-SIMS扮演要角

飛行時間式二次離子質譜(TOF-SIMS)是一項極為靈敏的表面分析技術,可以同時獲得空間解析度及縱深分析的訊息,已廣泛應用於先進製程的各種開發研究,是微區分析的一大利器…

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