矽光子一直是一項極具吸引力的技術。既然對光通訊中所用紅外線波段的光子來說,矽是透明的,那麼為什麼不將光學元件整合到矽片上呢?絕緣矽(SOI)製程可用於在矽中形成波導、調變器和其他光學結構,並充分利用CMOS的低成本與可擴展性。而經過數十年的研發,矽光子產品在過去幾年中已經進入市場並進入實際應用。