全新檢測和篩選方案提高汽車晶片良率及可靠性

作者 : KLA

全新檢測系統和創新線上篩選解決方案協助晶圓廠提高產品品質...

KLA公司發佈四款用於汽車晶片製造的新產品:8935高產能圖案晶圓檢測系統、C205寬頻等離子圖案晶圓檢測系統、Surfscan SP A2/A3無圖案晶圓檢測系統和I-PAT線上缺陷元件平均測試篩選解決方案。

KLA 的新型 Surfscan SP A2/A3、8935 和 C205 檢測系統以及創新的 I-PAT 線上篩選解決方案提高了汽車晶片的良率和可靠性。

這三台新檢測儀構成了一個互補的缺陷發現、監控和控制解決方案,適用於汽車產業中較大設計節點的晶片製造。Surfscan SP A2/A3無圖案晶圓檢測儀結合了DUV光學系統和先進算法,讓系統的靈敏度和速度足以在汽車晶片上識別並消除可能產生可靠性問題的製程缺陷,也確保製程設備以最佳的性能運行。

對於研發和批量生產,C205圖案晶圓檢測儀採用了寬頻光照和NanoPoint技術,因而使其對於關鍵缺陷高度靈敏,同時可以加快新製程和設備的優化。對於量產製造,893圖案晶圓檢測儀採用新的光學技術DefectWise AI解決方案,能夠以低雜訊比率捕獲各種關鍵缺陷,並快速準確地識別可能影響晶片最終品質的製程偏差。

I-PAT是一個運行於KLA檢測和資料分析系統中的創新線上篩選解決方案。I-PAT首先從包括8935或Puma雷射光掃描檢測儀等在內的高速8系列檢測儀在關鍵製程步驟中採集的所有晶圓資料中提取缺陷特徵。然後,I-PAT利用SPOT量產平台上的定制機器學習算法和Klarity缺陷管理系統的統計分析功能來辨別異常的缺陷,從而可以從供應鏈中剔除有風險的晶片。

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