功率半導體測試系統可執行高達3kV的電晶體電容量測

作者 : Tektronix

Tektronix宣佈推出Keithley S540功率半導體測試系統,這是為高達3kV的功率半導體裝置和結構提供的全自動48針腳參數測試系統。

完全整合的S540是專為與最新複合功率半導體材料——包括碳化矽(SiC)和氮化鎵(GaN)——搭配使用而進行最佳化處理,可在一次探頭接入中執行所有高壓、低壓和電容等測試。

隨著對功率半導體裝置的需求不斷提高,同時,SiC和GaN也日益商業化,製造商正在生產製程中採用晶圓級測試,以有效提升良率並改善盈利能力。針對這些應用,S540顯著地縮短了測試時間和測試設定時間,並減少了佔用空間,同時實現了實驗室級高電壓量測效能,進而降低了擁有成本。

為提供生產級效能,S540可在高達48針腳上執行參數量測,而不需更換電纜或探棒卡設施,還可執行高達3kV的電晶體電容量測,如Ciss、Coss和Crss,而無需手動重新配置測試針腳。S540還提供了pA級量測效能,可在不到1秒內執行全自動高壓洩漏電流測試,進一步提升了測試產出量。

S540為標準商業化產品,提供了可完整追蹤的系統規格、安全相容性、診斷功能,以及全球性服務和支援,而這些都視內部開發或自訂的系統常無法提供的功能。S540秉承了Keithley 30餘年的半導體參數經驗,完美整合了領先業界的半導體測試儀器與高低電壓切換矩陣、連接纜線、探棒卡轉接器、探測器驅動程式和測試軟體。

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