應材的PROVision系統是最先進的電子束檢測機台,提供1奈米解析度的電子束熱點檢測,能幫助客戶檢測出其他技術找不到的最高難度「致命性」缺陷,並監控製程的極限,以快速解決產量拉升問題,達成更高的良率。

PROVision系統的銷售動能漸增,出貨量已經超過十多台,包括來自龍頭晶圓代工廠與記憶體製造商的重複訂單。在2016年下半年,已另外排定出貨到現有及新增的客戶端。

相較於現有的電子束熱點檢測機台,PROVision系統能提供快上三倍的生產力,並可在整個晶圓產品的生命週期期間,針對影響效能與良率的缺陷,保證能進行精確的製程特性分析、預測與檢測。PROVision系統的加入讓應用材料公司的電子束量測與缺陷檢視產品及光學圖案晶圓檢測產品線,更加相得益彰。