ATMI採購Intermolecular的 Tempus™ HPC研發工作流程

ATMI與Intermolecular共同宣佈，ATMI已向Intermolecular公司採購涵蓋完整Tempus™ Fluids-based製程工具的High-Productivity Combinatorial™ (HPC) 工作流程，以加速該公司的研發時程。

這項採購進一步擴大雙方先前進行的合作開發計劃，透過這套Tempus™ Fluids-based工作流程，將可讓ATMI充分利用HPC™平台，完成研發方法的轉型。ATMI是根據先前使用這套產品的經驗做出採購決定，該公司以這套Tempus™ Fluid-based工作流程，迅速為台灣主要晶圓廠客戶開發出可提升製程效率的解決方案。

Intermolecular是半導體產業中唯一提供完全自動化組合研發平台的供應商，此一平台包含一系列的設備系統與軟體方法，可大幅縮短新材料、新製程技術和新元件架構開發與整合的時程。

「迅速開發更先進的材料，是促成半導體產業未來發展的重要關鍵!尤其是在新技術的初期開發階段。」ATMI執行長Doug Neugold表示，「我們非常期待將ATMI的製程效率理念、穩固的客戶關係及堅強的技術陣容與Intermolecular的技術結合在一起，加速提供更新的產品來協助客戶因應半導體材料需求的挑戰。透過Intermolecular的Tempus™工作流程，將可縮短我們精密的資料導向研發流程，讓我們在更短時間內提供客戶更好的材料解決方案，大幅降低客戶的研發成本。」

ATMI一直致力於最先進的半導體材料研發，並肯定Tempus™ Fluids流程系統能透過完全自動化的晶圓測量和資料分析，高速同步處理多個材料研究實驗的效率。



Intermolecular執行長David Lazovsky表示：「這次能與半導體材料領導廠商ATMI公司合作，更加證明了我們的HPC系統和方法可以提高研發生產力，讓材料供應商、設備製造商和晶片廠商擁有研發效率差異化的競爭優勢。」

「對新材料開發能力的要求與元件製造商的需求一直在快速的成長。」ATMI資深副總裁暨材料部門總經理Tod Higinbotham表示，「Intermolecular的Tempus™工作流程可讓我們創造高倍數的材料研發效率。相較於過去在同一時間僅能評估十數種研發組合，現在利用Intermolecular Tempus工作流程，我們已可在同樣時間內迅速完成數百或數千種組合的評估，這種研發效率不僅協助客戶加速產品上市時程.也可大幅降低開發成本。」

Tempus Fluids-based工作流程除了提供一系列工具將HPC方法做多方面應用，如自我組裝製程、清洗製程、液相光阻去除製程、液相蝕刻和化學鍍製程外, 還包括針對實驗設計、開發作業和資料管理所提供的專屬資訊系統，讓客戶透過低成本的開發、整合和測試作業，從眾多的選項中迅速找到最佳方案，進而創造最大的研發投資報酬率。

Intermolecular的HPC技術主要分為三部份：
*大量製程同步處理：自動且快速處理多個實驗
*相對的快速結果分析 (Throughput-Matched Characterization)：包含完全自動化的測量和電性測試架構，可迅速分析開發中技術的物理和電性效能
*自動分析的資訊處理系統：一套完整安全的網路化系統，可將資料處理和特性校準工具整合到統一的研發流程